| コンパクト レーザー干渉計 Ｆ６０１（平面測定） 簡単操作で正確な測定 |
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 特徴 |
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| ・ | 基本性能を維持したままコンパクトで低価格 | |
| ・ | 独特のアライメント機構により反射光をすばやく見つけられるため、測定時間を短縮できます | |
| 主な用途 |
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| ・ | 高精度平面（ガラス、金属、セラミック等）の平面度測定 | |
| オプション |
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| ・ | 解析装置 | |
| ・ | ２倍拡大レンズ | |
| ・ | 減衰膜 | |
| ・ | 長軸スタンド | |
| ・ | ビデオプリンタ | |
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仕様 |
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| 光源 | Ｈｅ-Ｎｅレーザー |
| 有効光束径 | φ６０ｍｍ |
| 測定感度 | λ／２（０.３μｍ/縞） |
| 基準面精度 | λ／２０ |
| 拡大倍率 | ×１ |
| 寸法 | 約３００×３２０×５９０ｍｍ |
| 質量 | 約３０ｋｇ |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ ５０／６０Ｈｚ １Ａ |